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Maschinendaten

Prozesswerte Beamline FL2

Vakuumanlage

Vakuummesswert FL2-VMG.02 1,5e-08mbar
Vakuummesswert FL2-VMG.05 6,0e-09mbar

Vakuumpumpe FL2-VPG.01läuft 7,1e-09mbar
Vakuumpumpe FL2-VPG.02läuft 3,0e-08mbar
Vakuumpumpe FL2-VPG.03läuft 2,2e-08mbar
Vakuumpumpe FL2-VPG.04läuft 1,0e-08mbar
Vakuumpumpe FL2-VPG.05läuft 1,0e-08mbar
Vakuumpumpe FL2-VPG.06läuft 7,1e-09mbar
Vakuumpumpe FL2-VPG.07läuft 9,1e-09mbar
Vakuumpumpe FL2-VPG.08läuft 1,3e-08mbar
Vakuumpumpe FL2-VPG.09läuft 9,7e-09mbar
Vakuumpumpe FL2-VPG.10läuft 2,1e-09mbar
Vakuumpumpe FL2-VPG.11läuft 2,3e-09mbar

Vakuumventil FL2-VVS.01offen
Vakuumventil FL2-VVS.02offen
Vakuumventil FL2-VVS.03offen
Vakuumventil FL2-VVS.04offen
Vakuumventil FL2-VVS.05zu
Vakuumventil FL2-VVS.06zu
Vakuumventil FL2-VVS.08zu
Vakuumventil FL2-VVS.09zu

Kühlwasser

Kreislauf / PumpeStatusVorlaufRücklauf
KL 1 / Pumpe 4ein 0,0 bar 0,0 bar
KL 2 / Pumpe 5ein 0,0 bar 0,0 bar

Verteilung / KreislaufVorlaufRücklauf
Raum 114aufauf
Raum 114aaufauf
Gang 100a 1aufauf

Dieses Seite wurde automatisch erstellt.

Autor: K.-W. Leege