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Titel
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Kontrollierte Erzeugung von Einzelphotonen-Emittern.
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Beschreibung
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Kontrollierte Erzeugung von Einzelphotonen-Emittern in Silizium (rot) mittels Breitstrahlimplantation von Ionen (blau) durch eine lithografisch definierte Maske (links) sowie durch einen gerasterten fokussierten Ionenstrahl (rechts). Symbolisch dargestellt: die Abgabe zweier Einzelphotonen an dafür durch den Prozess festgelegten Stellen. Im Hintergrund: Ein Elektronenstrahl erzeugt Löcher in der lithografischen Maske aus Acrylat.
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Copyright
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M. Hollenbach, B. Schröder/HZDR
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Bild-Nr.
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68336
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Datum
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22.02.2023
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Downloads:
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