Nano-Krater: Hochgeladene Ionen verdampfen Atome von Kristalloberfläche

Nano-Löcher auf Kaliumbromid-Oberfläche, Pressemitteilung vom 27.08.2008,

Raster-Kraft-Mikroskop-Aufnahme von Nano-Löchern auf der Kaliumbromid-Oberfläche nach Beschuss mit 25fach geladenen Xenon-Ionen

Die Ionenstrahl-Technologie spielt für die Strukturierung von Chips eine große Rolle und ein Schwerpunkt der Forschungen im Ionenstrahlzentrum des FZD ist die Erzeugung von Nanostrukturen mittels Ionen (geladenen Atomen). Darin konnten FZD-Wissenschaftler ein weiteres Mal erfolgreich ihr Know-how demonstrieren.

Sie setzten hochgeladene Ionen ein, also Atome, denen ein Großteil ihrer Elektronen entzogen wurde. Jedes einzelne hochgeladene Ion hat somit „potentielle“ (interne) Energie gespeichert, die beim Auftreffen auf eine Oberfläche freigesetzt wird. So entstehen winzig kleine Löcher in der obersten Materialschicht. Die Löcher sind wenige Nanometer breit und genau eine Atomlage tief, also nur ein Bruchteil eines Nanometers, und fügen sich zu kleinen Kratern zusammen.

Anhand von Kaliumbromid, einem kristallinen und nichtleitenden Material, demonstrierten die Forscher, dass man die gewünschten Nanostrukturen in der Oberfläche mit hochgeladenen Ionen effektiver erzeugen kann als mit einem Elektronenstrahl. Darüber hinaus kann man die Größe der Strukturen genau einstellen. Hochgeladene Ionen stellen damit ein vielversprechendes Instrument zur effektiven Modifikation von Materialoberflächen dar.

Link zur Pressemitteilung(1)

Veröffentlichung:
R. Heller, S. Facsko, R. A. Wilhelm, W. Möller, “Defect Mediated Desorption of the KBr(001) Surface Induced by Single Highly Charged Ion Impact”, in: Physical Review Letters, Vol. 101 (9/2008).

Weitere Informationen:
Dr. Stefan Facsko(2) / René Heller(3)
Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung
Tel.: 0351 260 - 2987 / - 3577


URL of this article
https://www.hzdr.de/db/Cms?pOid=28282


Links of the content

(1) https://www.hzdr.de/db/Cms?pOid=27508&pNid=99
(2) mailto:s.facsko@hzdr.de
(3) mailto:r.heller@hzdr.de