Kelvin-Kraft-Mikroskopie
Die Kelvin-Kraft-Mikroskopie (KPFM) ist eine spezielle Form der Rastersondentechniken auf der Nanometerskala und wird hauptsächlich zur Untersuchung von Dotierprofilen in Halbleitermaterialien verwendet. Im Rahmen des Projektes soll die KPFM als Nanometrologie-Analysetool für den Halbleitermarkt weiterentwickelt werden. Dazu sollen elektrisch leitende Spitzen mit hoher Resonanzfrequenz (>250 kHz) für Topographiemessungen verwendet und der Einfluss der leitenden Spitze auf das KPFM-Messsignal mittels ergänzender Rastermikrowellen-Mikroskopie nachgewiesen werden.
Fördergeber: | SMWA / SAB |
Förderkennzeichen: | 59948/245 |
Laufzeit: | 01.12.2010 - 31.05.2013 |
Umfang: | 214.480 € |
Ansprechpartner: | Dr. Heidemarie Schmidt |
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Dr. Björn Wolf
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Head Technology Transfer & Innovation
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