Contact

Dr. Johannes von Borany
Head of Ion Beam Center
j.v.boranyAthzdr.de
Phone: +49 351 260 - 3378
Fax: +49 351 260 - 13378

Technology & end stations for ion irradiation

Quick overview

Available ions

High-energy ion implantation

Ion implantation

Plasma-based ion implantation

Dual-beam ion implantation

FAQ

Ionentechnologie

Die Projektgruppe Ionentechnologie stellt das technologische Herz des Ionenstrahlzentrums (IBC) dar. Sie ist für den Betrieb, die Wartung und die Weiterentwicklung der Hochenergie-Ionenbeschleuniger, der Ionenimplanter, der Anlagen zur plasmabasierten Ionenimplantation (PBII) und der zugehörigen Endstationen zuständig. Damit stellt die Projektgruppe Ionentechnologie am IBC die technologischen Grundlagen für die Ionenstrahlmodifikation ((Hochenenergie-)Bestrahlung/Implantation), die Ionenstrahlanalytik und die Beschleuniger-Massenspektrometrie zur Verfügung.

 

Die ständigen Arbeitsgebiete umfassen folgende Thematiken:

  • Koordination des internationalen Nutzerbetriebes am Ionenstrahlzentrum (IBC)
  • Betrieb/Weiterentwicklung der 2 MV-, 3 MV- und 6 MV-Hochenergie-Ionenbeschleuniger für Forschung und Industrie
  • Betrieb/Weiterentwicklung der 40 kV-, 200 kV- und 500 kV-Ionenimplanter für Forschung und Industrie
  • Betrieb/Weiterentwicklung der Anlagen zur plasmabasierten Ionenimplantation (PBII) für Forschung und Industrie (inkl. der plasma-und ionengestützten funktionalen Beschichtung (PBII&D))

  • Weiterentwicklung und Erweiterung der experimentellen Endstationen für Forschung und Industrie

  • Betrieb der Wafer-Handling-Systeme an den elektrostatischen (Hochenenergie-)Ionenbeschleunigern für (Hochenergie-)Ionenimplantation/-bestrahlung und Oberflächenmodifizierung
  • Entwicklungsarbeiten zur Erweiterung der verfügbaren Ionenspeizes, zur Erhöhung der unterbrechungsfreien Betriebszeiten der Ionenquellen, und zur Erhöhung verfügbarer Ionenstrahlströme
  • Qualitätssicherung an den Hochenergie-Ionenbeschleunigern, den Ionenimplantern und den zugehörigen Endstationen
  • Bereitstellung des vernetzten Strahlführungssystem unter Einschluss des 3 MV-Hochenergie-Ionenbeschleunigers und des 500 kV-Ionenimplanters für Doppelimplantationen und in-situ-Messungen
  • Weiterentwicklung des rechnergestützten Beschleunigerbetriebes

Video IonenimplantationDie Ionentechnologie befasst sich mit Projekten und dem Service für grundlegende und anwendungsorientierte Untersuchungen zur Modifizierung oberflächensensitiver Eigenschaften, insbesondere Härte, Reibung, Verschleiß, Ermüdung, Haftfestigkeit, Korrosion, der Abscheidung von transparenten elektrisch leitfähigen Oxiden und Biokompatibiltät durch Ionenstrahltechniken (Ionenimplantation, ionenstrahlinduziertes Mischen und ionengestützte Schichtabscheidung). Neben den Forschungsarbeiten werden Serviceleistungen insbesondere zur Ionenimplantation  für Forschung und Industrie ausgeführt.


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Dr. Johannes von Borany
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