Contact

Dr. Stefan Facsko
Head IBA/OSA
Head Ion Induced Nanostructures
s.facskoAthzdr.de
Phone: +49 351 260 - 2987
Fax: 12987, 2879

Strukturdiagnostik

Die Abteilung Strukturdiagnostik widmet sich dem Studium der Mikrostruktur vorwiegend von ionenimplantierten Proben. Sie ist thematisch mit den Aufgaben der anderen Abteilungen des Institutes verbunden und stärker methodisch orientiert.


TEM FWIS

Verfügbare Methoden der Strukturdiagnostik

Diese Methoden und Geräte werden in beachtlichem Umfang für Untersuchungen von Proben anderer Institute des FZD eingesetzt. Die untersuchungsspezifische Probenpräparation wird in der Abteilung vorgenommen (insbesondere für Elektronenmikroskopie). 


Untersuchungsschwerpunkte

Methoden

Phasenanalyse / Phasenbildung und Gitterverzerrungen in Schichtstrukturen MB, TEM, XRD
Struktur von dünnen Schichten sowie deren Grenzflächen REM, TEM, XRD, XRR
Elementzusammensetzung in Mikrobereichen AES, EDX im REM und TEM
Oberflächen- und Grenzflächenrauhigkeiten  TEM, XRR

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Dr. Stefan Facsko
Head IBA/OSA
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