Reinraum-Labor

Das Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung betreibt ein Reinraumlabor mit insgesamt 320 m2 einschließlich  vier Büro-und Meßräume. Die Aufgabe des Reinraumlabors ist die Gewährleistung guter Präparationsbedingungen im Rahmen des Institutes für die Prozessierung bzw. Herstellung von Halbleiterproben, Dünnschichtsystemen sowie Bauelementeteststrukturen für die Ionenstrahl- und Materialforschung.

Der gesamte Reinraum, der im August 1998 in Betrieb genommen wurde, ist ein dreistöckiges Gebäude:

  • 2. Etage mit Luft- Klimatechnik,
  • Erdgeschoß mit Reinraum-Laborräumen und
  • Kellergeschoß mit Medienversorgung sowie die Gas- und Wasserverrohrung.
Der Reinraum ist unterteilt in
  • 118 m2 der Reinraumklasse 500.000 mit den Meß- und Testeinrichtungen,
  • in 136 m2 der Reinraumklasse 100.000 mit den Servicebereichen,
  • in 35 m2 der Reinraumklasse 1.000 und
  • 35 m2 Arbeitsflächen mit der Reinraumklasse 100,
die eine ausgezeichnete Basis für halbleitertechnologische Forschungen bilden.
 
 

 

 

 
  • Das Reinraumlabor ist unterteilt in 5 Sektionen:

  • Naßchemische Prozesse (Standardprozesse)
  • Fotolithografie
  • Oxydation, Diffusion, Temperung
  • Physikalische Dünnschicht-Abscheidung & reaktives Ionen-Ätzen
  • Nasschemisches Ätzen (Spezialprozesse)