Nachweis von akustischen Wellen induziert durch fein fokussierte Ionenstrahlen
Akustische Wellen, induziert durch einen intensitätsmodulierten fein fokussierten Ionenstrahl, wurden nachgewiesen. Die Experimente wurden mit einem Ga+ Strahl von 35 keV und einem Strom von 3 nA bei einer variablen Chopperfrequenz bis zu 10 MHz im FIB System IMSA-100 durchgeführt. Die akustischen Signale wurden mittels eines piezoelektrischen Sensors mit integriertem Vorverstärker aufgenommen. Die Frequenz- und Positionsempfindlichkeit des Sensors ist durch Laseranregung bestimmt worden. Die ionen-akustischen Messungen wurden dann bei der Resonanzfrequenz des Sensors durchgeführt. Eine Abhängigkeit des Messsignals vom Probenmaterial wurde gefunden. Die Ergebnisse zeigen, daß der ionen-akustische Effekt für die Abbildung und Materialanalyse in FIB Systemen(1) genutzt werden kann.
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