Curriculum vitae: Prof. Dr. Wolfhard Möller

Geboren 1944.

Physikstudium in Göttingen, München und Bochum.
Promotion 1975 an der Ruhr-Universität Bochum.
Wissenschaftlicher Assistent an der Universität Bochum bis 1980, unterbrochen von einem zweijährigen Forschungsaufenthalt an der Universität Aarhus (Dänemark).
Von 1981 bis 1993 Wissenschaftlicher Angestellter und seit 1987 Projektleiter am Max-Planck-Institut für Plasmaphysik in Garching.

1982 Habilitation und 1988 Ernennung zum Außerplanmäßigen Professor an der Universität Bochum.

Seit 1993 Direktor des Institutes für Ionenstrahlphysik und Materialforschung im Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf und

Professor für Ionenstrahlphysik an der Technischen Universität Dresden.

Ca. 200 Artikel in referierten Zeitschriften und Buchbeiträge in den Fachgebieten Ionenstrahlanalytik, Ionenstrahlmodifizierung von Metallen und Halbleitern, ionen- und plasmagestützte Schichtabscheidung, Plasma-Wand-Wechselwirkung, Plasma-Immersions-Ionenimplantation und Computer-Simulation der Ionen-Festkörper-Wechselwirkung und der ionenunterstützten Schichtabscheidung.