Reinraum

Das Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung betreibt ein Reinraumlabor mit insgesamt 320 m2 einschließlich  vier Büro- und Meßräumen. Die Aufgabe des Reinraumlabors ist die Gewährleistung guter Präparationsbedingungen im Rahmen des Institutes für die Prozessierung bzw. Herstellung von Halbleiterproben, Dünnschichtsystemen sowie Bauelemente-Teststrukturen für die Ionenstrahl- und Materialforschung.

Das gesamte Reinraumlabor, das im August 1998 in Betrieb genommen wurde, ist ein dreistöckiges Gebäude, das unmittelbar in das Ionenstrahlzentrum integriert und folgendermaßen ausgelegt ist:

  • Obergeschoß mit Luft- und Klimatechnik sowie Kühlwasserversorgung,
  • Erdgeschoß mit Reinraum-Laborräumen und
  • Kellergeschoß mit Medienversorgung sowie die Gas- und
  • Wasserversorgung.

Das Reinraumlabor ist unterteilt in:

  • 118 m2 der Reinraumklasse 500.000 mit den Meßplätzen und Testeinrichtungen
  • 136 m2 der Reinraumklasse 100.000 mit den Servicebereichen
  • 35 m2 der Reinraumklasse 1.000
  • 35 m2 Arbeitsflächen mit der Reinraumklasse 100

die eine ausgezeichnete Basis für halbleitertechnologische Forschungen im Rahmen der wissenschaftlichen Forschungsthemen Nanostrukturen, Materialien für die Optoelektronik sowie Dotierung & Defekte in Halbleitern bilden.


Der eigentliche Reinraum ist unterteilt in 5 Sektionen:

  • Naßchemische Prozesse (Standardprozesse)
  • Fotolithografie
  • Oxydation, Diffusion, Temperung
  • Physikalische Dünnschicht-Abscheidung & reaktives Ionen-Ätzen
  • Nasschemisches Ätzen (Spezialprozesse)