Fokussierte Ionenstrahlen für Nanostrukturen
Fokussierte Ionenstrahlen (Focused Ion Beams, FIB) finden im Forschungsthema Nanostrukturen folgende Anwendungen:
- Ionenstrahlsynthese von Nanostrukturen(1)
- Defektbildung und dynamische Ausheilung bei FIB Implantation(2)
- Ga+ FIB-Implantation und selektives nasschemische Ätzen für 3D-Nanostrukturen(3)
- Nanometrische Ripple-Bildung bei FIB-Bestrahlung(4)
- Lokales FIB-Sputtern zur Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen(5)
- Entwicklung und Test von Flüssigmetall-Legierungs-Ionenquellen (LMAIS)(6)
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