Dresden Thin Film Technology GmbH

Die Dresden Thin Film Technology Dresden GmbH bietet Ionenimplantation im Energiebereich 2 keV bis 25 keV für Wafer mit einer Stärke von vier bis sechs Zoll. Ein weiteres Spezialgebiet ist das Flash Light Annealing (FLA) zur Ultrakurzzeitbehandlung v.a. von temperatursensitiven Polymeren im Millisekundenbereich bei einer Temperatur von über 2000°C. 2016 wurde die Technologie von der Fa. SOLAYER GmbH übernommen.

Solayer GmbH

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