Contact

Dr. Roman Böttger
Head Ion Implantation
Ion Technology
r.boettger@hzdr.de
Phone: +49 351 260 - 2873

PBII-8

PBII-8 PBII-Edelstahlkammer

   Anwendungen

   Implantation und Beschichtung

   Kammer

   Edelstahl

   Plasmaerzeugung

   HF Antenne, Magnetrons

   Substratgröße

   max. 200 mm x 200 mm x 200 mm

   Substrathalter

   rotierbar, höhenverstellbar 250 mm, wassergekühlt, keine aktive Heizung

   Hochspannung

   0.1 - 20 kV

   Standardgase

   Ar, N2, O2, H2

   Weitere Spezies

   Cr, Cu, Ni, Ti, Ta, Ag, C, sowie auf Nachfrage

   Beschichtungsquellen    bis zu 4 Magnetrons variabler geometrischer Anordnung für Beschichtung, Metallimplantation oder Kombination aus beidem

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