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Dr. Axel Renno
Group Leader Ion Beam Analysis 
Phone: +49 351 260 - 3274

Eye catcher

 

Ionenstrahlmikrosonde (Ion microprobe)

 

Laterale Elementverteilungen oder Tiefenprofile im Lateralbereich von einigen Mikrometern mittels

  • Teilchen-induzierte Röntgenemission (PIXE)
  • Teilchen-induzierte Gamma-Emission (PIGE)
  • Rutherford-Rückstreu-Spektrometrie (RBS) & RBS/Channeling
  • Elastische Rückstreuanalyse (ERD)
  • Kernreaktionsanalyse (NRA)

Quantitative und standardfreie Methode mit einer relativen Genauigkeit von 5-10%

Typische Parameter:

  • Laterale Auflösung:
    • 3 x 3 µm2
    • 10 x 10 µm2 (channeling)
  • Scanfläche: < einige mm2  
  • Nachweisgrenzen:
    • 0,2 Atom-% (für H & B-F)
    • > 0,001 Atom-% (für Al - U)
  • Analysiertiefe (max.): 1 - 5 µm (matrixabhängig)
  • Tiefenauflösung: ~ 20 nm (an der Oberfläche)

Für weiterführende Informationen, kontaktieren Sie bitte Frans Munnik oder Axel Renno.