Kontakt

Dr. Shengqiang Zhou

Lei­ter Halbleiter­materialien
Leiter
s.zhouAthzdr.de
Tel.: +49 351 260 2484

Dr. Lars Rebohle

l.rebohleAthzdr.de
Tel.: +49 351 260 3368

Instrumentelle Ausstattung und Geräte

Abscheidung

Bild Beschreibung
Foto: Energiespeicher FLA01 ©Copyright: Dr. Christoph Folgner

Blitzlampentemperung

  • verschiedene Anlagen für
    • 100 mm
    • 150 mm
    • 300 x 200 mm
    • 1200 x 1200 mm (in Freiberg)
  • Tempergase: Vakuum, N2, Ar, O2
  • Pulszeiten: 0.5-20 ms
  • Vorheizung bis 1000°C
  • Energiedichten bis 150 Jcm-2
  • Temperaturen bis 2000°C (abhängig von Vorheizung und Lichtabsorption)
  • Maschinenbelegung

Verantwortlich: T. Schumann, L. Rebohle, S. Prucnal

Foto: Sputter-FLA ©Copyright: Dr. Lars Rebohle

Magnetronsputtern

  • Hersteller: Rovak
  • staubarmer Arbeitsplatz
  • bis 200 x 300 nm (Carriergröße)
  • kann mit in-situ FLA kombiniert werden
  • 75 mm Sputterquellen
    • Al, Cr, Cu, Fe, Ge, Mn, Ni, Si, Sn, Ti, TiN
    • Multischichten mit zwei Sputterquellen
    • andere Metalle auf Anfrage
  • 30 mm Sputterquelle: Au

Responsible: T. Schumann

PECVD

Plasmagestützte Abscheidung aus der Gasphase (PECVD)

  • Hersteller: Oxford Instruments
  • staubarmer Arbeitsplatz
  • bis 8 Zoll
  • Hochtemperaturelektrode bis 750°C
  • Schichtmaterialien:
    • SiO2
    • Si3N4, SiOxNy
    • amorphes oder polykristallines Si, Ge

Verantwortlich: L. Rebohle

ALD Anlage

mit FWIO: Atomlagenabscheidung (ALD)

  • Hersteller: Ultratech/CambridgeNanotechALD
  • bis 4 Zoll
  • Abscheidetemperatur 80 - 350°C
  • Schichtmaterialien:
    • Al2O3, HfO2, ZnO
    • Mischschichten (auf Anfrage)

Verantwortlich: L. Rebohle (FWIM), T. Schönherr (FWIO)

Laserausheilung: COMPexPRO 201

Laserausheilung: COMPexPRO 201  

  • Hersteller: Coherent
  • Gepulter Laser (10 Hz)
  • Wellenlämge: 308 nm
  • Pulsdauer: 30 ns
  • Max. Energie: 500 mJ pro Puls

Verantwortlich: S. Zhou

Elektrische Charakterisierung

Bild Beschreibung
Hall-Effekt-Messsystem

Hall-Effekt-Messsystem HMS 9709A von LakeShore:

Messung von elektrischen Transportgrößen (Widerstand, Ladungsträgerdichte und Beweglichkeit) in Abhängigkeit von Temperatur und Magnetfeld.

  • Temperaturbereich:                2.5 - 400 K
  • Maximales Magnetfeld:                      9 T
  • Maximale Probengröße:           13 x 16 mm2
  • Strombereich:                         1 pA - 100 mA
  • Widerstandsbereich:            40 µΩ - 200 GΩ

Verantwortlich: S. Zhou

Widerstandsmessung

Widerstandsmessung

  • 200 mm 4 Point Probe System Aitco CMT 2000
  • 400 x 300 mm Flat Panel 4 Point Probe System Aitco CMT 3000

Verantwortlich: T. Schumann

Optische Charakterisierung

Bild Beschreibung
Optisches Labor

Optische Messplätze

  • Photolumineszenz
  • Elektrolumineszenz
  • Transmissionsmessung an Wellenleitern

Verantwortlich: S. Prucnal, L. Rebohle

Magnetische Charakterisierung

Bild Beschreibung
SQUID-VSM

Quantum Design: SQUID-VSM

Das SQUID-VSM ist ein hochempfindliches Magnetometer das die Empfindlichkeit eines SQUID (Superconducting Interference Device) mit der höheren Geschwindigkeit eines VSM (Vibration Sample Magnetometer) kombiniert. Man kann sehr schwache magnetische Signale messen (sowohl Temperaturabhängigkeit als auch Magnetfeldabhängigkeit).

  • Temperaturbereich: 1.8 - 400 K
  • Feld:  - 7 T  to +7 T
  • Empfindlichkeit: 10-7 - 10-8 emu

Verantwortlich: S. Zhou