Massen-separierte fokussierte Ionenstrahlen
Das FIB System IMSA-100 wurde 1988 entwickelt, um extrem hohe Stromdichten von mehr als 10 A/cm-2 für diverse Ionenarten zu erreichen. Die ionenoptische Säule bestand aus einer Ga-LMIS oder alternativ einer LMAIS, zwei elektrostatischen Linsen, einem Oktupoldeflektor, einem ExB Massenseparationssystem, einem Austaster, zwei Stigmatoren und einem Sekundär- Elektronen/Ionen Detektions-system für die Probenabbildung.
Nach 12-jährigem erfolgreichen Betrieb wurde die Anlage modernisiert, da die Strahlparameter (besonder Ionenstrahldurcmesser ~ 200 nm) den neuen Anforderungen nicht mehr genügten. Die ionenoptische Säule einschließlich der Ansteuerung wurde durch eine FIB-Ionensäule vom Typ CANION Z31Mplus von Orsay Physics ebenfalls mit einem Massenseparator (ExB Filter) ersetzt, wobei viele der umfangreichen Optionen der IMSA-100 erhalten wurden.
Parameter des Systems IMSA-Orsay-Physics-FIB
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Schema der Ionenstrahlsäule IMSA – Orsay Physics |
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