Contact

Dr. Johannes von Borany
Head of Ion Beam Center
j.v.boranyAthzdr.de
Phone: +49 351 260 - 3378
Fax: +49 351 260 - 13378

Technology & end stations for ion irradiation

Quick overview

Available ions

High-energy ion implantation

Ion implantation

Plasma-based ion implantation

Dual-beam ion implantation

FAQ

Elektrostatische Beschleuniger

Im IBC stehen drei elektrostatische Hochenergie-Ionenbeschleuniger mit insgesamt ca. 20 Messplätzen zur Ionenmodifikation und Analytik zur Verfügung.

6 MV Tandetron  

Der Beschleuniger im Ionenstrahlzentrum Hersteller: High Voltage Engineering Europe BV (HVEE)
Typ: Tandem, Hochspannungskaskade (Dynamitron)
Terminalspannung: 0.3 - 6 MV
Ionenquellen: Duoplasmatron Model 358 mit Li-Ladungsaustauschkanal
Cs-Sputterquelle Model IONEX 860C
AMS Cs-Sputterquelle SO-110
Duoplasmatron EKTON
Multicusp-Gasquelle mit Rb-Ladungsaustauschkanal
Energiebereich: ca. 0.6 - 50 MeV
(abhängig vom Ladungszustand des Ions)
Ionenströme: 0.001 - 100 µA
Experimentierplätze: 12
Anwendungen: (Hochenergie)-Ionenimplantation; Ionenbestrahlung Ionenstrahlanalytik (IBA)
Beschleuniger-Massenspektrometrie (AMS)
Kern- und Astrophysik
Entwicklung Ionenoptik für laserbeschleunigte Ionen

3 MV Tandetron

3 MV Tandetron

Hersteller: High Voltage Engineering Europe BV (HVEE)
Typ: Tandem, Hochspannungskaskade (Dynamitron)
Terminalspannung: 0.15 - 3 MV
Ionenquellen: Duoplasmatron Model 358 mit Li-Ladungsaustauschkanal
Cs-Sputterquelle Model IONEX 860C
TORVIS (NEC) He-Ionenquelle mit Rb-Ladungsaustauschkanal
Energiebereich: ca. 0.3 - 20 MeV
(abhängig vom Ladungszustand des Ions)
Ionenströme: 0.001 - 100 µA
Experimentierplätze: 6
Anwendungen: (Hochenergie)-Ionenimplantation; Ionenbestrahlung
Ionenstrahlanalytik (IBA) 
Kern- und Astrophysik
Doppelstrahlexperimente (Beschleuniger und  Implanter)

2 MV Van-de-Graaff

van-de-Graaf Hersteller: Transformatoren- und Röntgenwerk Dresden
Typ: Van-de-Graaff Bandgenerator
Terminalspannung: 0.4 - 1.8 MV
Ionenquellen: RF-Ionenquelle für H, He
Energiebereich: 0.4 - 1.8 MeV 
Ionenströme: 0.001 - 1 µA
Experimentierplätze: 2
Anwendungen: Ionenstrahlanalytik (IBA)
Ionenlumineszenz

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Dr. Johannes von Borany
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