Nanostruktur von Halbleitersubstraten
| Titel | Nanostruktur von Halbleitersubstraten |
|---|---|
| Beschreibung | Die Herstellung einer photolithographischen Struktur lichtempfindlicher Lacke findet im Reinraum im Ionenstrahlzentrum statt. So wird jegliche Kontamination durch Staubpartikel vermieden. |
| Copyright | HZDR/Detlev Müller |
| Bild-Nr. | 54391 |
| Datum | 31.01.2017 |
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