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Maschinendaten

Prozesswerte Beamline FL1

Vakuumanlage

Vakuummesswert FL1-VMG.01 6,2e-01mbar
Vakuummesswert FL1-VMG.03 1,3e-08mbar

Vakuumpumpe FL1-VPG.01läuft 3,1e-09mbar
Vakuumpumpe FL1-VPG.02läuft 3,2e-09mbar
Vakuumpumpe FL1-VPG.03läuft 3,3e-09mbar
Vakuumpumpe FL1-VPG.04läuft 2,2e-08mbar
Vakuumpumpe FL1-VPG.05läuft 1,2e-08mbar
Vakuumpumpe FL1-VPG.06läuft 5,5e-09mbar
Vakuumpumpe FL1-VPG.07läuft 1,5e-09mbar
Vakuumpumpe FL1-VPG.08läuft 5,9e-09mbar
Vakuumpumpe FL1-VPG.09läuft 6,4e-09mbar
Vakuumpumpe FL1-VPG.10läuft 7,4e-09mbar
Vakuumpumpe FL1-VPG.11läuft 2,1e-09mbar
Vakuumpumpe FL1-VPG.12läuft 1,1e-09mbar
Vakuumpumpe FL1-VPG.13läuft 4,6e-10mbar

Vakuumventil FL1-VVS.01offen
Vakuumventil FL1-VVS.02offen
Vakuumventil FL1-VVS.03offen
Vakuumventil FL1-VVS.04offen
Vakuumventil FL1-VVS.05offen
Vakuumventil FL1-VVS.06offen
Vakuumventil FL1-VVS.07offen
Vakuumventil FL1-VVS.08offen
Vakuumventil FL1-VVS.09offen
Vakuumventil FL1-VVS.10offen
Vakuumventil FL1-VVS.11offen

Kühlwasser

Kreislauf / PumpeStatusVorlaufRücklauf
KL 1 / Pumpe 4aus 0,0 bar 0,0 bar
KL 2 / Pumpe 5aus 0,0 bar 0,0 bar

Verteilung / KreislaufVorlaufRücklauf
Raum 114zuzu
Raum 114azuzu
Gang 100a 1zuzu

Dieses Seite wurde automatisch erstellt.

Autor: K.-W. Leege