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Maschinendaten

Prozesswerte Beamline LA1 - NP

Vakuumanlage

Vakuummesswert LA1-VMG.10	5,4e-10mbar
Vakuummesswert LA1-VMG.11	1,0e-04mbar
Vakuummesswert NP-VMG.01	1,6e+00mbar
Vakuummesswert NP-VMG.02	1,0e-04mbar
Vakuummesswert NP-VMG.03	1,0e-02mbar
Vakuummesswert NP-VMG.11	0,0e+00mbar

Vakuumpumpe LA1-VPG.01	läuft	1,0e-10mbar
Vakuumpumpe LA1-VPG.02	läuft	1,1e-10mbar
Vakuumpumpe LA1-VPG.03	läuft	1,6e-09mbar
Vakuumpumpe LA1-VPG.04	läuft	2,3e-09mbar
Vakuumpumpe LA1-VPG.05	läuft	2,4e-09mbar
Vakuumpumpe LA1-VPG.06	läuft	2,5e-09mbar
Vakuumpumpe NP-VPG.01	läuft	4,6e-09mbar
Vakuumpumpe NP-VPG.02	läuft	7,6e-10mbar

Vakuumventil LA1-VVQ.01	offen
Vakuumventil LA1-VVS.12	offen
Vakuumventil LA1-VVQ.02	offen
Vakuumventil NP-VVS.01	zu

Dieses Seite wurde automatisch erstellt.

Autor: K.-W. Leege