Publications Repository - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

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Atomistische Simulation der Ionenimplantation und ihre Anwendung in der Si-Technologie

Posselt, M. Keywords: .
  • Lecture (Conference)
    Institut für Physik der Universität Augsburg, January 28,1999

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-3154
Publ.-Id: 3154