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Lichtemission aus Nanostrukturen: Neue Ansätze für integrierte optische Systeme in Siliziumtechnologie
Gebel, T.;
Die Realisierung von Lichtquellen auf Silizium-Basis erschien noch in den 80er
Jahren unmöglich. Lichtemitter aus Verbindungshalbleitern hingegen sind
technologisch sehr weit entwickelt, vermögen aber eins nicht: die Integration in
herkömmliche Chipstrukturen, also direkt auf einem Silizium - Chip. Seit Anfang
der 90er Jahre kann mit dem Einzug der Nanotechnologien durch modifizierte
Schichten und Strukturen im Nanometer - Bereich diese bisherige Schranke des
Siliziums überwunden werden: Aufgrund ihrer speziellen Eigenschaften können in
einem reinen Si - Herstellungsprozeß erzeugte Nanostrukturen zum Leuchten
angeregt werden. Im Vortrag werden aktuelle Trends der siliziumbasierten
Lichtemission vorgestellt und Anwendungsfelder beschrieben, u.a. die mögliche
Verwendung integrierter optischer Strukturen in Lab-on-Chip Systemen für die
Biotechnologie.



Keywords: Si-basierte Lichtemission, Nanostrukturen
  • Lecture (others)
    VDI-Forum Nanoworld, Hannover Messe 2001, Hannover, 24. April 2001

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