Elektrische und mikrostrukturelle Effekte in hochdotiertem 6H-SiC nach Ionenimplantation

Elektrische und mikrostrukturelle Effekte in hochdotiertem 6H-SiC nach Ionenimplantation

Wirth, H.

• Forschungszentrum Rossendorf; FZR-236
  ISSN: 1436-3976

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Publ.-Id: 1364