Strukturierung von epitaktischen CoSi2/Si-Heterostrukturen durch lokale Oxidation

Strukturierung von epitaktischen CoSi2/Si-Heterostrukturen durch lokale Oxidation

Antons, A.; Klinkhammer, F.; Kappius, L.; Heinig, K.-H.; Trinkaus, H.; Mantl, S.

• Lecture (Conference)
  DPG-Frühjahrstagung des AK Festkörperphysik, Münster, March 22-26,1999

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-3131
Publ.-Id: 3131