Synthese und Bearbeitung von Nanostrukturen mit Ionenstrahlen
Synthese und Bearbeitung von Nanostrukturen mit Ionenstrahlen
Heinig, K.-H.
Unter Ionenbestrahlung laufen in der Festkörperoberfläche Prozesse weitab vom thermodynamischen Gleichgewicht ab. Übliche Prozeßabläufe können umgekehrt werden (z. B. inverses Ostwaldreifen), und geordnete Strukturen können sich ausbilden (z. B. wave-ordered-structures). Im Vortrag werden hierzu experimentelle und theoretische Untersuchungen vorgestellt. Es wird u. a. gezeigt, wie Nanocluster in Ordnungszustände gebracht werden können, die für mikroelektronische und mikrooptsche Anwendungen hochinteressant sind.
Keywords: Ionenstrahlsynthese; Nanocluster; Computersimulation; Thermodynamik
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Lecture (others)
Friedrich-Schiller Universität Jena, Physikalisch-Astronomische Fakultät, Vortrag am 17. 11. 2000
Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-3679
Publ.-Id: 3679