Entwicklung einer neuen Technologie zur Probenpräparation für die Transmissions-Elektronenmikroskopie (TEM) auf der Basis der Ionenfeinstrahlbearbeitung


Entwicklung einer neuen Technologie zur Probenpräparation für die Transmissions-Elektronenmikroskopie (TEM) auf der Basis der Ionenfeinstrahlbearbeitung

Köhler, B.; Bischoff, L.

Aufgabe des Projektes war die Entwicklung einer neuen Technologie zur Probenpräparation für die Transmissions-Elektronenmikroskopie (TEM) auf der Basis der Ionenfeinstrahlbearbei-tung. Dazu wurden Prozesse der ionenstrahlgestützten Abtragung (Sputtern), der Abschei-dung, des Probenhandling sowie systemeigener Komponenten untersucht. Als Alternative zur Ga- Quelle wurde eine Flüssigmetall-Ionenquelle auf der Basis einer AuGeSi Legierung entwi-ckelt, charakterisiert und in der FIB 4400 eingesetzt.
Um eine automatische Bearbeitung bei der Herstellung von TEM-Lamellen zu ermöglichen, erfolgte eine Modifikation der FIB-4400 Software. Das LabView Programm wurde entsprechend modifi-ziert und zusätzlich um nützliche Komponenten ergänzt.
Abtragsraten auf der Basis der Volumenverlustmethode wurden experimentell bestimmt. Diese Werte dienen als Ausgangspunkt für eine weiter ausbaubare Datensammlung, die die entwi-ckelte Prozessautomatisierung verfeinert.
Für den Tranfer von TEM -Lamellen, die aus dem Volumen präpariert werden, wurde ein spe-zieller lift-off Manipulator entwickelt, gebaut und getestet.
Es wurde ein Angebotskatalog erarbeitet, der anhand von Applikationsbeispielen mit verschie-denen Anforderungen (raue Oberflächen, Hochauflösung, poröse Materialien, Materialien mit verminderter Leitfähigkeit) die Kooperationsmöglichkeiten im Dresdener Raum im Rahmen des Materialforschungsverbundes aufzeigt.

Keywords: Ionenfeinstrahl; Sputtern; Transmissions-Elektronenmikroskopie (TEM); Probenpräparation

  • Open Access Logo Wissenschaftlich-Technische Berichte / Forschungszentrum Rossendorf; FZR-329 August 2001
    ISSN: 1437-322X

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Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-4086
Publ.-Id: 4086