Entwicklung und Relaxation mechanischer Spannungen in Bornitrid-Schichten

Entwicklung und Relaxation mechanischer Spannungen in Bornitrid-Schichten

Fitz, C.

• Wissenschaftlich-Technische Berichte / Forschungszentrum Rossendorf; FZR-337 Januar 2002
  ISSN: 1437-322X

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Publ.-Id: 4281