Augerelektronenspektroskopie (AES)

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Ausrüstung Scanning-Augerelektronenspektrometer Microlab 310F (Fisons) mit Feldemissions-Elektronenquelle und hemisphärischem Sektoranalysator XPS-Zusatz (Al/Mg-Röntgenröhre)

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Arbeitsschwerpunkte

Das Scanning-Augerelektronenspektrometer wird vorwiegend zur Ermittlung von  Tiefenprofilen an ionenimplantierten und ionenstrahlbehandelten Schichten eingesetzt. Außer der Bestimmung der Elementkonzentration in Abhängigkeit von der Tiefe gestattet die hohe Energieauflösung des Instrumentes für bestimmte Elemente (Si, Al) auch Aussagen über  mögliche Verbindungen in der Schicht. Das Spektrometer wird weiterhin zur flächenhaften Analyse von  Elementverteilungen in Mikrobereichen (sog. Elementmapping) genutzt. Dabei beträgt die minimale laterale Auflösung 15 nm, die analysierte Fläche kann zwischen 1,5 und einigen 100 µm² variieren.
Mit XPS (Photoelektronenspektroskopie) ist es möglich, die Bindungsenergien der Atome im unmittelbaren Oberflächenbereich (2-5 nm) zu ermitteln und damit Bindungszustände zu charakterisieren. Hier beträgt die analysierte Fläche 2x3 mm².