Elektromagnetische Strömungskontrolle der Schmelze bei der Kristallzüchtung
Eine kontaklose Steuerung der Konvektion in der Schmelze ist bei den meisten Kristallzüchtungstechnologien wichtig. Stationäre Magnetfelder werden typischerweise verwendet, um solche Strömungen zu dämpfen, besonders die turbulenten Fluktuationen. Magnetische Wechselfelder wirken aktiv als treibende Kraft auf die Stömung ein, weisen aber auch einen stabilisierenden Charakter auf.
Physikalische Modellierung der Czochralski-Kristallzüchtung
Im Labormaßstab sind Modellexperimente ein häufig verwendeter Ansatz für industrielle Prozesse wie die Czochralski-Kristallwachstums-Methode. Aufgrund der Verfügbarkeit geeigneter Messtechniken wurde die niedrigschmelzende Legierung GaInSn, die bei Raumtemperatur flüssig ist, mittlerweile zum de-facto-Standard.
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RGS process and free surface dynamics in liquid metal flows
Bei der Ribbon Growth on Substrate (RGS) Technologie handelt es sich um eine Kristallisationstechnik, welche eine direkte und effiziente Herstellung von Silizium-Wafern und Hightech-Siliciden in dünnen Schichten ermöglicht. Ein sinnvolles Niveau an Stabilität und Kontrolle des Prozesses lässt sich dabei jedoch nur durch den Einsatz maßgeschneiderter magnetischer Wechselfelder erreichen. Um diese Felder auszulegen und um deren komplexe Wechselwirkung mit der Schmelzströmung zu verstehen benötigt man spezialisierte numerische Tools.
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Elektromagnetische Strömungskontrolle in der Schmelze bei der "Vertical Gradient Freeze" (VGF) Kristallzüchtung
WeiterlesenDer Einfluss von Magnetfeldern auf die Strömung in der Schmelze bei verschiedenen Kristallzüchtungsprozessen werden in Zusammenarbeit mit anderen Gruppen untersucht wie z.B.: Technische Universität Freiberg, RGS Development Netherlands, Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB Erlangen, Siltronic AG, Hanwha Q-Cells