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HZDR ist Partner im Netzwerk Dresden - Stadt der Wissenschaft


"Charta der Vielfalt"

Das HZDR ist der "Charta der Vielfalt" beigetreten, einer Unternehmensinitiative zur Förderung von Vielfalt in Unternehmen und öffentlichen Einrichtungen. Die Bundesregierung unterstützt diese Initiative und die Bundeskanzlerin ist Schirmherrin der Charta.

Erfolgreich gestartet: Kooperation zwischen Qimonda Dresden und dem Forschungszentrum Dresden-Rossendorf (FZD) in Zusammenarbeit mit dem Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien (CNT)

Die stetige Verkleinerung der Strukturdimensionen bei Speicherchips erfordert zunehmend den Ersatz bisher eingesetzter Materialsysteme. Qimonda entwickelt am Standort Dresden die nächsten Technologien für Speicherbauelemente. Für diese Technologien spielen neue Materialen eine wichtige Rolle zum Erreichen der Produktspezifikationen bei ständig höherer Speicherdichte.

Bei der Entwicklung neuer Materialien und Schichtsysteme sowie deren Integration in einen Fertigungsprozess nimmt die Analytik eine wichtige Funktion ein. Da die Schichten inzwischen mitunter nur noch wenige Atomlagen "dick" sind, werden Methoden benötigt, die einerseits eine Tiefenauflösung im Bereich einzelner Atomlagen besitzen und andererseits für solch geringe Materialmengen empfindlich genug sind.

Hier trafen sich das Interesse von Qimonda Dresden und die analytischen Möglichkeiten im Forschungszentrum Dresden-Rossendorf (FZD) in Zusammenarbeit mit dem Fraunhofer CNT. Mit der hochauflösenden Ionenstrahlanalytik gelingt es, Element-Tiefenprofile an ultradünnen Schichten mit einer sehr hohen Tiefenauflösung zu messen und diese Profile hinsichtlich Tiefe und Elementkonzentration standardfrei zu quantifizieren. Die Vertragspartner werden dieses Verfahren weiter qualifizieren, damit die zukünftigen Anforderungen aus den neuen Material- und Schichtsystemen insbesondere bei der Empfindlichkeit erfüllt werden. Ein anderes Feld der Zusammenarbeit ist die röntgenanalytische Charakterisierung der strukturellen Schichteigenschaften, z. B. deren kristalline Phasen und die Stabilität bei der Anwendung thermischer Prozessschritte. Von besonderem Interesse ist dabei die Einbindung des Synchrotron-Messplatzes des FZD (Rossendorf Beamline) an der Europäischen Synchrotron-Strahlungsquelle in Grenoble. Durch die um Größenordnungen höhere Strahlintensität und die Möglichkeit der Energievariation der Röntgenstrahlung ist eine sehr hohe Empfindlichkeit und optimale Anpassung an unterschiedliche Materialsysteme gegeben.

Die im Herbst 2006 vertraglich vereinbarte Zusammenarbeit zwischen Qimonda Dresden und dem FZD über zunächst 2 Jahre schließt neben der Nutzung und Weiterentwicklung der im FZD vorhandenen Analysentechnik auch die enge Zusammenarbeit mit dem Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien (CNT) ein.

Weitere Informationen:
Dr. Johannes von Borany
Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung
Forschungszentrum Dresden-Rossendorf (FZD)
Tel: 0351 260 3378

Dr. Rainer Käsmaier
Physikalische Fehleranalyse
Qimonda Dresden GmbH & Co OHG

Bild zur Pressemitteilung vom 30.01.2007: Mikroskopaufnahme eines 90nm-Chip

1. Mikroskopaufnahme eines 90 nm-Chips

Bild zur Pressemitteilung vom 30.01.2007:  Hochauflösende Ionenstrahlanalytik: In einer Multilagenschicht 5x (0.57 nm Ta0.1Si0.9 / 5.2 nm Si) kann das Ta der einzelnen Schichten deutlich nachgewiesen werden.  

2. Hochauflösende Ionenstrahlanalytik: In einer Multilagenschicht 5 x (0.57 nm Ta0.1Si0.9 / 5.2 nm Si) kann das Ta der einzelnen Schichten deutlich nachgewiesen werden.

Pressekontakt:
Dr. Christine Bohnet
Presse- und Öffentlichkeitsarbeit
Forschungszentrum Dresden-Rossendorf (FZD)
Bautzner Landstr. 128
01328 Dresden
Tel.: 0351 260 2450 oder 0160 969 288 56
Fax: 0351 260 2700