Contact
Dr. Roman Böttger
Authorized Officer, Director Ion Technology
HZDR Innovation GmbH
r.boettger
hzdr.de
Phone: +49 351 260 2873
PBII-8
|
Anwendungen |
Implantation und Beschichtung |
|
Kammer |
Edelstahl |
|
Plasmaerzeugung |
HF Antenne, Magnetrons |
|
Substratgröße |
max. 200 mm x 200 mm x 200 mm |
|
Substrathalter |
rotierbar, höhenverstellbar 250 mm, wassergekühlt, keine aktive Heizung |
|
Hochspannung |
0.1 - 20 kV |
|
Standardgase |
Ar, N2, O2, H2 |
|
Weitere Spezies |
Cr, Cu, Ni, Ti, Ta, Ag, C, sowie auf Nachfrage |
| Beschichtungsquellen | bis zu 4 Magnetrons variabler geometrischer Anordnung für Beschichtung, Metallimplantation oder Kombination aus beidem |
Contact
Dr. Roman Böttger
Authorized Officer, Director Ion Technology
HZDR Innovation GmbH
r.boettgerhzdr.de
Phone: +49 351 260 2873
