Kontakt

Dr. Stefan Facsko

Lei­ter des Ionen­strahl­zentrums
s.facskoAthzdr.de
Tel.: +49 351 260 2987

Ionenstrahlanalytik und Strukturanalytik

Die Projektgruppen Ionenstrahlanalytik und Strukturanalytik befassen sich mit der Analyse der chemischen, physikalischen und morphologischen Eigenschaften von (ionenmodifizierten) Festkörperoberflächen und dünnen Schichten. Zum Einsatz kommen analytische Verfahren, die die Wechselwirkung von hochenergetischen Ionen, Elektronen und Röntgenstrahlen mit Festkörperoberflächen nutzen.


Arbeitsgebiete

  • Element- und Strukturanalytik von dünnen Schichten und an Oberflächen
  • Mikro- /Nanobereichsanalytik
  • In-situ-Analytik während Schichtabscheidung/thermischen Prozessen
  • Phasenbildung und -transformationen, Gittereigenschaften
  • Charakterisierung der Grenz- und Oberflächenmorphologie
  • Zerstörungsfreie Analytik von Kunst- und Kulturgegenständen
  • Ressourcenanalytik (in Kooperation mit Helmholtz Institut Freiberg für Ressourcentechnologie - HIF)

Verfügbare Analysetechniken

Browne-Buechner-Spektometer_ausschnitt Ionenstrahlanalytik
  • Rutherford-Rückstreuung (RBS)
  • Rückstoßatom-Spektrometrie (ERDA)
  • Nukleare Resonanzreaktions-Analytik (NRA)
  • Protonen-induzierte Röntgen- und Gammaspektroskopie (PIXE / PIGE)
  • Beschleuniger-Massenspektrometrie (AMS) - in Kooperation HIF
TEM FWIS Strukturdiagnostik
  • Analytische Transmissions- und Rasterelektronenmikroskopie (TEM / REM)
  • Analytik mit Zweistrahl-Anlagen (Ionen/Elektronen)
  • Augerelektronenspektroskopie (AES)
  • Röntgendiffraktion (XRD) / Reflektometrie (XRR) / Kleinwinkelstreuung (GISAXS)

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Dr. Stefan Facsko

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