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Dr. René Hübner

Lei­ter Strukturanalytik
Elek­tronen­mikro­skopie-Labor
r.huebnerAthzdr.de
Tel.: +49 351 260 3174

orangener PfeilAnalytische Transmissionselek­tronen­mikro­skopie

Vorschau-Bild
Analytische Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) findet Anwendung in der Untersuchung der

  • Phasenbildung in Nanomaterialien
  • Struktur von dünnen Schichten einschließlich Oberflächen- und Grenzflächenrauigkeiten
  • Elementzusammensetzung im Nanometerbereich

Phasenseparation in perkolierte Si-Nanostrukturen im SiO2

BF-TEM Si-SiOx Überblick

Abb. 1. TEM-Hellfeldabbildung einer Querschnittsprobe eines auf einkristallinem Silizium abgeschiedenen Si-SiOx-Nanokomposits.

BF-TEM Si-SiOx HRTEM

Abb. 2. Hochaufgelöste TEM-Abbildung der Grenzfläche zwischen Si-SiOx-Nanokomposit und Siliziumsubstrat mit elastisch gestreuten Elektronen.

EFTEM Si-SiOx Si+SiOx

Abb. 3. Überlagerung von mittels EFTEM aufgenommener Si- (grün) und SiOx-Verteilungen (rot).