Elektronenquelle

• Typ: S-FEG
• Beschleunigungsspannungen: 80 kV, 300 kV
• Richtstrahlwert: ~10⁸ A cm^-2 sr^-1

Beleuchtung

• 3-Kondensorlinsen-System

Abbildung

• Objektiv: S-Twin-Linse mit Bildkorrektor (CEOS)
• TEM-Informationslimit: 0.10 nm
• STEM-HAADF-Auflösung: 0.136 nm

Kameras und Detektoren

• 4-Megapixel CCD-Kamera (Gatan, UltraScan 1000) für TEM
• Großwinkeldunkelfelddetektor (HAADF) für STEM

Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDXS)

• Rückziehbarer Röntgenfluoreszenzdetektor (EDAX)
• effektiver Raumwinkel: 0.13 sr
• Energieauflösung: 136 eV (Mn-Kα)
• Elementnachweis für Z ≥ 5

Elektronenenergieverlustspektroskopie (EELS) und Energiegefilterte Abbildung (EFTEM)

• Abbildendes Energiefilter Gatan Tridiem 863
• 4-Megapixel CCD-Kamera (Gatan, UltraScan 1000)
• Energieauflösung: 0.7 eV

Probenhalter

• Einfachkipphalter
• 2 Low-Background-Doppelkipphalter mit Be-Hex-Ring
• In-situ Einfachkipphalter für Heizexperimente bis 1000 °C (Philips, Modell PW6592)