Nanostruktur von Halbleitersubstraten_1
| Title | Nanostruktur von Halbleitersubstraten_1 |
|---|---|
| Description | Die Herstellung einer photolithographischen Struktur lichtempfindlicher Lacke findet im Reinraum im Ionenstrahlzentrum statt. So wird jegliche Kontamination durch Staubpartikel vermieden. |
| Copyright | HZDR/Detlev Müller |
| Picture Id | 54392 |
| Date | 31.01.2017 |
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