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Dr. Stefan Facsko
Head IBA/OSA
Head Ion Induced Nanostructures
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Phone: +49 351 260 2987
Fax: +49 351 260 12987, +49 351 260 2879

Dr. Silke Merchel
Scientist
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s.merchelAthzdr.de
Phone: +49 351 260 2802, +49 351 260 3701
Fax: +49 351 260 12802

Zusätzliche Dienstleistungen des IBC

Nutzer des Ionenstrahlzentrums können auf zusätzliche Dienstleistungen zur erfolgreichen Durchführung ihres Experimentes zurückgreifen. Die Nutzung dieser Dienstleistungen kann nur im Zusammenhang mit einem akzeptierten Experiment und im Rahmen einer angemessenen Resourcennutzung in Anspruch genommen werden.

Unter anderem wird folgender Add-On Service angeboten:

Probenherstellung und Probenverarbeitung

  • Trennen, Polieren, chemisches Reinigen und Ätzen von Proben
  • Oberflächenstrukturierung mit Lithographie (optisch einschließlich Laser, Elektronenstrahlen, Ionen) 
  • Thermische Bearbeitung mit Ofenanlagen, Kurzzeit-Temperanlagen, Blitzlampen, Laser (Excimer, Dioden)
  • Dünnschichtabscheidung (Sputtern, Elektronenstrahl- und thermische Verdampfung)
  • Herstellung einfacher Bauelementestrukturen

Die Probenpräparation und Prozessierung von Bauelementen erfolgt größtenteils unter Reinraumbedingungen (ISO-5 Reinraum).

Zugang zur AMS Probenaufbereitung

Messverfahren und Charakterisierung

  • Optische und elektrische Charakterisierungstechniken (Raman, IR, PL; IU, CV, STM u.a.)
  • Elektronenmikroskopie und -spektroskopie (SEM, HIM, TEM, AES, XPS)
  • Röntgenuntersuchungen (Reflektometrie, Beugung, Kleinwinkelstreuung)

Simulation und Datenanalyse

  • Simulation von Ionen-Festkörper-Wechselwirkungen (Dotieren, Defekte, Ionenstrahlmischen)
  • Simulation der Oberflächenstrukturierung (Sputtern, Oberflächendiffusion)
  • Datenauswertung bei der Ionenstrahlanalytik

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