NRA

Auf deutsch: Analyse mittels Kernreaktion

Diese Methode der Analyse wird verwendet um bestimmte Fremdstoffe im Festkörper nachzuweisen sowie um deren Konzentration und Tiefenverteilung festzustellen. Zuerst wird festgestellt welche Energie benötigt wird um eine Resonanz zu empfangen. Diesen Energiezustand muss das Ion in der zu untersuchenden Schicht haben, sonst kommt es zu keiner Reaktion. Das Ion muss diesen bestimmten Energiezustand haben sonst kann es sich wegen den gleichen Ladungen nicht mit dem Kern verbinden und so kommt es zu keiner Reaktion. Weil die Energieabnahme pro Längeneinheit in der Probe konstant ist, und die Energieabnahme auf dem Weg zur Probe sowieso eine Konstante ist, kann man berechnen aus welcher Schicht die Resonanz kommt. Variiert man nun die Beschleunigungsenergie, hat das Ion in tieferen Schichten den gewünschten Energiezustand und reagiert erst in dieser Schicht, so kann man nachweisen in welcher Schicht welche Konzentration vorhanden ist, aufgrund der Strahlungsintensität. Das funktioniert aber nur weil die Ionen mit denen geschossen wird abgezählt sind, denn wären sie nicht abgezählt, wäre das Ergebnis nicht sicher denn es könnte passieren das unterschiedlich viele Ionen auf einmal auf die Probe treffen und dadurch das Ergebnis verfälschen. In welcher Tiefe noch ein Fremdatom vorhanden ist, wird aufgrund der Beschleunigungsenergie und der Resonanz berechnet.
Die Art der Ionen mit denen beschossen, wird spielt auch eine wesentliche Rolle, weil man ausrechnen muss und kann, welche Reaktion mit dem nachzuweisendem Atom geschieht und was für Folgen das in Bezug auf Strahlung hat.
Doch diese Variante der Analyse misst nicht nur γ - Strahlung sondern ebenfalls α - Strahlung. Das unterscheidet das NRA Verfahren vom PIGE Verfahren.