Reinraum

Das Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung betreibt ein Reinraumlabor mit insgesamt 320 m² einschließlich  vier Büro- und Meßräumen. Die Aufgabe des Reinraumlabors ist die Gewährleistung guter Präparationsbedingungen im Rahmen des Institutes für die Prozessierung bzw. Herstellung von Halbleiterproben, Dünnschichtsystemen sowie Bauelemente-Teststrukturen für die Ionenstrahl- und Materialforschung.

Das gesamte Reinraumlabor, das im August 1998 in Betrieb genommen wurde, ist ein dreistöckiges Gebäude, das unmittelbar in das Ionenstrahlzentrum integriert und folgendermaßen ausgelegt ist:

• Obergeschoß mit Luft- und Klimatechnik sowie Kühlwasserversorgung,
• Erdgeschoß mit Reinraum-Laborräumen und
• Kellergeschoß mit Medienversorgung sowie die Gas- und
• Wasserversorgung.

Das Reinraumlabor ist unterteilt in:

• 100m² der Reinraumklasse 500.000 mit den Meßplätzen und Testeinrichtungen
• 100 m² der Reinraumklasse 100.000 mit den Servicebereichen
• 90 m² der Reinraumklasse 1.000
• 40 m² Arbeitsflächen mit der Reinraumklasse 100

die eine ausgezeichnete Basis für halbleitertechnologische Forschungen im Rahmen der wissenschaftlichen Forschungsthemen Nanostrukturen⁽¹⁾, Materialien für die Optoelektronik⁽²⁾ sowie Dotierung & Defekte in Halbleitern⁽³⁾ bilden.

Der eigentliche Reinraum ist unterteilt in 5 Sektionen:

• Naßchemische Prozesse (Standardprozesse)
• Fotolithografie
• Oxydation, Diffusion, Temperung
• Physikalische Dünnschicht-Abscheidung & reaktives Ionen-Ätzen
• Nasschemisches Ätzen (Spezialprozesse)

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