Winkel- und Energieverteilung bei Magnetron Sputtern
Winkel- und Energieverteilung bei Magnetron Sputtern
Neidhardt, J.; Möller, W.
kein Abstract verfügbar
-
Invited lecture (Conferences)
Analytische Massenspektrometrie in der Oberflächentechnik Grundlagen und Anwendung, 25.11.2009, Dresden, Deutschland -
Contribution to proceedings
Analytische Massenspektrometrie in der Oberflächentechnik Grundlagen und Anwendung, 25.11.2009, Dresden, Deutschland
Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-13444
Publ.-Id: 13444