Winkel- und Energieverteilung bei Magnetron Sputtern


Winkel- und Energieverteilung bei Magnetron Sputtern

Neidhardt, J.; Möller, W.

kein Abstract verfügbar

  • Invited lecture (Conferences)
    Analytische Massenspektrometrie in der Oberflächentechnik – Grundlagen und Anwendung, 25.11.2009, Dresden, Deutschland
  • Contribution to proceedings
    Analytische Massenspektrometrie in der Oberflächentechnik – Grundlagen und Anwendung, 25.11.2009, Dresden, Deutschland

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-13444
Publ.-Id: 13444