P1404 - Strukturierungsverfahren


P1404 - Strukturierungsverfahren

Facsko, S.; Ou, X.

Die Erfindung betrifft ein Strukturierungsverfahren zum Herstellen eines nanostrukturierten Bauelements mit periodisch angeordneten Strukturelementen, aufweisend die Schritte: Bereitstellen eines Substrats mit einer Schicht aus einem einkristallinen Schichtmaterial aus mindestens zwei chemischen Elementen; Heizen des Substrats mit der Schicht; und Bestrahlen einer Oberfläche der Schicht mit einem Ionenstrahl unter Erzeugung von Leerstellen in der Schicht.

  • Patent
    DE102014107458 - Offenlegung 03.12.2015, Nachanmeldung: 3x CN

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-22824
Publ.-Id: 22824