DCEMS-Tiefenanalyse der Phasenbildung in Fe-ionenimplantiertem Si


DCEMS-Tiefenanalyse der Phasenbildung in Fe-ionenimplantiertem Si

Kruijer, S.; Dobler, M.; Reuther, H.; Keune, W.

  • Lecture (Conference)
    DPG-Frühjahrstagung, Münster, March 17 - 21, 1997

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2412
Publ.-Id: 2412