Transmissionselektronenmikroskopie zur Analyse anodischer Barriereschichten

Die vorliegende Studie stellt die vielfältigen Möglichkeiten der Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) zur Charakterisierung dünner anodischer Barriereschichten vor. Dazu wurden magnetrongesputterte Aluminiumschichten bei unterschiedlichen Pulsfrequenzen oxidiert und mittels TEM analysiert. Unabhängig von den Herstellungsbedingungen sind die Oxidschichten porenfrei und amorph. Die Mikrostruktur des Aluminiums beeinflusst die Oxidschichten nicht. Mittels energiedispersiver Röntgenspektroskopie wurden keine Hinweise auf den Einbau von Elektrolytspezies in die Barriereschichten gefunden.