Ionenimplantation in 6H-SiC; Elektrische Untersuchungen und Sublimation


Ionenimplantation in 6H-SiC; Elektrische Untersuchungen und Sublimation

Wirth, H.

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    Daimler-Benz-AG, FZ Frankfurt/M., Jan. 8, 1997

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Publ.-Id: 2526