Verfahren zur Herstellung von integrierten Abtastnadeln


Verfahren zur Herstellung von integrierten Abtastnadeln

Schmidt, B.; Bischoff, L.; Eng, L.

Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zu schaffen, das die Erzeugung von miniaturisierten, integrierten Abtastnadeln, bestehend aus Support, Biegebalken und hohler Nadelspitze mit und ohne Apertur, erlaubt und die somit bevorzugt für den Einsatz in der SNOM geeignet sind.

  • Patent
    DE 100 57 656 C1
  • Patent
    EP 1 209 689 A2
  • Patent
    EP 1 209 689 B1

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-3700
Publ.-Id: 3700