Verfahren zur Herstellung von integrierten Abtastnadeln
Verfahren zur Herstellung von integrierten Abtastnadeln
Schmidt, B.; Bischoff, L.; Eng, L.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zu schaffen, das die Erzeugung von miniaturisierten, integrierten Abtastnadeln, bestehend aus Support, Biegebalken und hohler Nadelspitze mit und ohne Apertur, erlaubt und die somit bevorzugt für den Einsatz in der SNOM geeignet sind.
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Patent
DE 100 57 656 C1 -
Patent
EP 1 209 689 A2 -
Patent
EP 1 209 689 B1
Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-3700
Publ.-Id: 3700