Atomistische Computersimulation der Defektbildung und -evolution in Si bei Ionenimplantation


Atomistische Computersimulation der Defektbildung und -evolution in Si bei Ionenimplantation

Posselt, M.

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  • Lecture (Conference)
    39. Arbeitskreis Punktdefekte, Dresden, February 12 - 13, 2001

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-3838
Publ.-Id: 3838