Atomistische Computersimulation der Defektbildung und -evolution in Si bei Ionenimplantation
Atomistische Computersimulation der Defektbildung und -evolution in Si bei Ionenimplantation
Posselt, M.
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Lecture (Conference)
39. Arbeitskreis Punktdefekte, Dresden, February 12 - 13, 2001
Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-3838
Publ.-Id: 3838