Flash Lamp Processing for Conductive ITO Layers
Flash Lamp Processing for Conductive ITO Layers
Skorupa, W.; Anwand, W.; Schumann, T.; Voelskow, M.; Luethge, T.; Adam, D.
Vortrag anlässlich eines vertraulichen Projekttreffens bei der Creavis-Degussa AG
Keywords: ITO layers; Flash lamp annealing
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Lecture (Conference)
Summer School Nanotronics 2006, 11.-13.09.2006, Marl, Deutschland
Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-9338
Publ.-Id: 9338