Contact

Dr. Wolfgang Skorupa
Head Semiconductor Materials
w.skorupaAthzdr.de
Phone: +49 351 260 - 3612
Fax: 13612, 3411

Instrumentelle Ausstattung und Geräte

Abscheidung

Bild Beschreibung
Flash lamp Anlage

Blitzlampentemperung

  • verschiedene Anlagen für
    • 100 mm
    • 200 mm
    • 300 x 200 mm
    • 100 mm In-situ
    • 100 mm Simmer-Tool
  • Tempergase: Vakuum, N2, Ar, O2
  • Pulszeiten: 0.13-80 ms
  • Vorheizung bis 1100°C
  • Energiedichten 4.5 – 135 Jcm-2
  • Temperaturen bis 2000°C (abhängig von Vorheizung und Lichtabsorption)

Verantwortlich: T. Schumann

PECVD

Plasmagestützte Abscheidung aus der Gasphase (PECVD)

  • Hersteller: Oxford Instruments
  • staubarmer Arbeitsplatz
  • bis 8 Zoll
  • Hochtemperaturelektrode bis 750°C
  • Schichtmaterialien:
    • SiO2
    • Si3N4, SiOxNy
    • TEOS-Oxid
    • amorphes Si, polykristallines Si
    • Ge-Mischschichten (auf Anfrage)

Verantwortlich: L. Rebohle

PLD Anlage

Abscheidung durch Laserablation (PLD)

  • Hersteller: SURFACE systems + technology GmbH & Co. KG
  • Probengröße: 10x10 mm^2
  • Schichtmaterialien:
    • Transparente leitende Oxide
    • Multiferroika
    • Isolatorschichten

Verantwortlich: I. Skorupa

ALD Anlage

mit FWIO: Atomlagenabscheidung (ALD)

  • Hersteller: Ultratech/CambridgeNanotechALD
  • bis 4 Zoll
  • Abscheidetemperatur 80 - 350°C
  • Schichtmaterialien:
    • Al2O3
    • HfO2
    • SiO2
    • Mischschichten (auf Anfrage)

Verantwortlich: L. Rebohle (FWIM), T. Schönherr (FWIO)

Laserausheilung: Activationline 12

Laserausheilung: Activationline 12 

  • Hersteller: LIMO
  • CW laser
  • Wellenlämge: 808 nm
  • Max. Leistung: 450 W
  • bis DIN A4

Verantwortlich: S. Zhou

Laserausheilung: COMPexPRO 201

Laserausheilung: COMPexPRO 201  

  • Hersteller: Coherent
  • Gepulter Laser (10 Hz)
  • Wellenlämge: 308 nm
  • Pulsdauer: 30 ns
  • Max. Energie: 500 mJ pro Puls

Verantwortlich: S. Zhou

Elektrische Charakterisierung

Bild Beschreibung
Hall-Effekt-Messsystem

Hall-Effekt-Messsystem HMS 9709A von LakeShore:

Messung von elektrischen Transportgrößen (Widerstand, Ladungsträgerdichte und Beweglichkeit) in Abhängigkeit von Temperatur und Magnetfeld.

  • Temperaturbereich:                2.5 - 400 K
  • Maximales Magnetfeld:                      9 T
  • Maximale Probengröße:           13 x 16 mm2
  • Strombereich:                         1 pA - 100 mA
  • Widerstandsbereich:            40 µΩ - 200 GΩ

Verantwortlich: V. Heera

Widerstandsmessung

Widerstandsmessung

  • 200 mm 4 Point Probe System Aitco CMT 2000
  • 400 x 300 mm Flat Panel 4 Point Probe System Aitco CMT 3000

Verantwortlich: T. Schumann

Optische Charakterisierung

Bild Beschreibung
Optisches Labor

Optische Messplätze

  • Photolumineszenz
  • Elektrolumineszenz
  • Transmissionsmessung an Wellenleitern

Verantwortlich: J. Bhattacharyya (FWIH), L. Rebohle


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