Publikationsrepositorium - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

Sub-20 nm multilayer nanopillar patterning for hybrid SET/CMOS integration: Figs. 1a, 1b and 5

Engelmann, H.-J.
Project Leader: von Borany, Johannes

Beteiligte Forschungsanlagen

• Ionenstrahlzentrum DOI: 10.17815/jlsrf-3-159

Verknüpfte Publikationen

• DOI: 10.17815/jlsrf-3-159 is cited by this (Id 32276) publication
• DOI: 10.1016/j.mne.2020.100074 references this (Id 32276) publication
• Sub-20 nm multilayer nanopillar patterning for hybrid SET/CMOS integration
  ROBIS: 32129 has used this (Id 32276) publication of HZDR-primary research data

• Forschungsdaten im HZDR-Daten-Repositorium RODARE
  Publication date: 2021-02-09 Open access
  DOI: 10.14278/rodare.806
  Versions: 10.14278/rodare.807
  License: CC-BY-4.0

Downloads

• Veröffentlichung im HZDR-Daten-Repository RODARE - Id 806

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-32276