Die Randschichtausbreitung bei der Plasma-Immersions-Ionenimplantation

Die Randschichtausbreitung bei der Plasma-Immersions-Ionenimplantation

Mändl, S.

• Wissenschaftlich-Technische Berichte / Forschungszentrum Rossendorf; FZR-206
  ISSN: 1436-3976

Downloads

• FZR- 206, 5 MB PDF 4,9 MB

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-1076