Ionenstrahlen – ein Werkzeug zur Herstellung von Nanostrukturen

Es wird ein Überblich über die Möglichkeiten des Einsatzes von Ionenstrahltechniken zur Erzeugung von Nanostrukturen sowohl auf Festkörperoberflächen als auch vergraben im Festkörper gegeben. Besonders wird dabei auf die Ionenstrahlsynthese von Nanoclustern in SiO2 und die Synthese von Nanodrähten mittels feinfokussierten Ionenstrahlen eingegangen. Zum Schluss wird die Herstellung von Si-Nanodrähten und Nano-Elektro-Mechanischen Systemen (NEMS) beschrieben, die auf der Kombination von lakaler Ga+ FIB-Implantation mit einer selektiven Ätztechnik beruht.